數(shù)字化精密測量技術是數(shù)字化制造技術中的關鍵技術之一。開發(fā)亞微米、納米級高精度測量儀器，提高環(huán)境適應能力，增強魯棒性，使精密測量裝備進入生產(chǎn)現(xiàn)場，集成到加工機床和制造系統(tǒng)，形成先進的數(shù)字化閉環(huán)制造系統(tǒng)，是當今精密測量技術的發(fā)展趨勢。

美國FARO技術公司的FaroARM系列便攜式三坐標測量臂在工業(yè)界首次實現(xiàn)測量臂與激光掃描頭的完美結(jié)合，在同一坐標系下實現(xiàn)非接觸式快速掃描和接觸式測量。特點：非接觸式靈活快速掃描，獲取曲線曲面的點云數(shù)據(jù)，點云無分層；接觸式測量，把握關鍵特征尺寸與輪廓的精度；非接觸式與接觸式測量在同一坐標系下完美結(jié)合，掃描沒有任何分層；掃描頭與測量臂及測量軟件同為FARO公司產(chǎn)品，技術完全共享，服務更加方便。在實際應用中為客戶大大縮短設計生產(chǎn)制造周期，降低成本，質(zhì)量控制可以在內(nèi)部完成，自動生成的報告適用于網(wǎng)絡應用，從而改善了各生產(chǎn)職能部門之間及實際不同地點間的溝通；提高了準確性，做產(chǎn)品檢驗時用戶通常通過5到10個點來定義曲面，使得用戶可以檢驗由數(shù)以萬計的點云定義的曲面質(zhì)量；自動化的SPC可對多個樣品進行自動化的統(tǒng)計過程控制。

美國CIMCORE公司推出了配備有先進激光掃描測量系統(tǒng)的關節(jié)臂測量機。材料采用碳纖維，INFINITE系列還具有無線通訊功能。用于反求工程時，不僅測量速度快，而且可實現(xiàn)測量過程的實時顯示和補漏測量數(shù)據(jù)的無縫拼接。該儀器可用于三坐標測量、三維造型、產(chǎn)品測繪、反求工程、現(xiàn)場測量以及模具設計制造等涉及到設計、制造、過程檢測、在線檢測以及產(chǎn)品最終檢測等測量工作。
瑞士TESA公司的Scan系列用2個線陣CCD組件，通過工件的回轉(zhuǎn)和軸向移動對工件進行投影掃描，可實現(xiàn)對軸類零件位置誤差和形狀誤差的精確檢測、對截面形狀和輪廓度的評估比較以及統(tǒng)計質(zhì)量分析，還能對零件的局部（如過渡曲線、微小溝槽等）進行放大測量。對螺紋、蝸桿、絲桿等能夠進行全參數(shù)精度的精確測量。

德國SCHNEIDER的WMM系列軸類及工具測量儀操作簡單、測量速度高，特別適用于車間檢查站。儀器采用高分辨力的Matrix攝像頭，可以快速獲取測量數(shù)據(jù)。儀器數(shù)顯分辨力為0.0001mm，長度測量不確定度為E2=（2.0 L/200）µm（L單位為mm）。

數(shù)控機床的精度和性能檢測領域中，國外著名廠商Renishaw、API及HP等公司生產(chǎn)的激光干涉儀測量系統(tǒng)和球桿儀等在數(shù)控機床的幾何精度和運動精度的檢測和監(jiān)控中，無論在機床制造廠還是機床使用廠，都得到了廣泛的應用。Renishaw公司的激光干涉測量系統(tǒng)，配備了高精度、高靈敏度的溫度、氣壓、濕度傳感器及EC10環(huán)境補償裝置，在工作環(huán)境下測量精度得到進一步提高；API公司的Rmtea六維激光測量系統(tǒng)可同時測量6個數(shù)控機床精度項目的誤差，縮短了檢測時間，為生產(chǎn)現(xiàn)場數(shù)控機床的檢測和診斷提供了更為快速高效的精密測量手段。成都工具研究所的MJS系列雙頻激光干涉儀，分辨力0.01µm，測量軟件覆蓋了我國和世界主要工業(yè)國的數(shù)控機床精度標準評定方法和指標，動態(tài)采樣功能可用于自動補償。

在非接觸掃描測量，三坐標測量機方面LEITZ公司的精密三坐標測量機用于測量大型齒輪。瑞典HEXAGON集團所屬DEA公司的PRIMAC1系列水平臂測量機配備有光學/激光式非接觸掃描傳感器，可適應不同測量環(huán)境和任務的要求。德國ZEISS公司的PRORPremium坐標測量機配備有EagleEye導航系統(tǒng)和可控測座可實施高速精密測量。

美國光動（Optodyne）公司近年推出的基于體對角線的激光矢量測量技術是快速測量和補償數(shù)控機床、加工中心三維空間位置誤差的一個新途徑。該技術由美國光動公司發(fā)明并獲得專利，它遵循了ASMEB5.54。我國西安愛德華測量機公司自主開發(fā)的柔性關節(jié)臂測量機的樣機。

德國帝目機械設備有限公司（teamtechnik）提供的測試系統(tǒng)解決方案。基于設備功能組成部分的模塊化。獨立于所測試的零件，功能元件被標準化為模塊，并在應用過程中始終保持一致。設備以被測試的零件為中心，這樣經(jīng)過試用檢驗的技術就能夠不斷的積累和提高。