一、設備特點：

1、加熱室、過渡室、油淬室為立式結構（也可臥式）。
2、石墨碳棒加熱，加熱速度快，溫度均勻，使用壽命。
3、脈沖偏壓源，提供高穩定的強滲電源。
4、可實現氣淬；油淬；真空退火；真空回火等多種工藝過程。

二、工藝特點：

1、滲碳溫度可大幅度降低，實現滲碳溫度與加熱淬火溫度一致，避免重復加熱，節省能源，減小零件變形量。
2、不使用防滲劑，不滲的地方用鐵板遮擋住即可，例：齒輪可先滲碳淬火再拉鍵槽。
3、對齒輪而言，滲碳優勢明顯，通過工藝控制可實現在節園部分滲層深齒根部分滲層略淺。

例如：對滲碳層深0.8mm以上。
真空離子滲碳：860℃~880℃保溫2.5h+擴散0.5h淬火。
氣體滲碳：930℃保溫3h+擴散1h冷卻，再加熱至860℃淬火。

4、耗氣量甚微，節能環保。
5、設備功率分別為：30/20；40/15；50/30；65/50；90/30。（電阻加熱功率/輝光放電功率）。
6、工藝類型 等離子體滲碳或碳氮共滲的特點之一，是無憂機械電子在滲入的初期在工件表面就很容易建立高碳濃度，加上表面碳濃度隨處理時間的延長而增加，所以必須采取滲碳加擴散的工藝（尤其對滲層較深的工件）。
7、設備示意圖：

8、等離子體滲碳的原理

等離子體滲碳的原理與離子滲氮相似。工件滲碳時所需的活性碳原子或離子，不僅象常規氣體滲碳一樣利用熱分解反應，而且還利用輝光放電時在陰極（工件）位降區中工作氣體的電離而獲得。以滲碳介質丙烷為例，它在等離子滲碳中的反應過程如下：

輝光放電
C3H8————————Cr+C2H6+H2
900～1000℃

輝光放電
C3H8————————Cr+CH4+H2
900～1000℃

輝光放電
C3H8————————Cr+ 2H2
900～1000℃

式中Cr 活性碳原子和離子

9、等離子滲碳的優點

⑴滲碳速度快

由于它是在真空中加熱，并有高能離子的轟擊，致使被處理件表面潔凈與活化，再加上滲碳氣體由于熱分解與電離的雙重作用，并在直流脈沖電場的作用下，使得工件表面附近的空間在短時間內就形成高的碳離子濃度區，從而加速了碳向工件的滲入與擴散，大大縮短滲碳時間。例如880℃，1h的離子滲碳就可獲得0.6mm深的硬化層，同常規氣體滲碳相比，可以縮短約50%的時間。

⑵滲層容易控制

由于工作氣氛氣壓，放電電流密度、滲碳氣體的流量及導入時間以及點燃輝光等都可以按需要預先設定并調節，因而能準確控制滲層。例如，通過調節放電電流密度值，就可以很容易控制表面碳濃度及硬化層深度。