Thomas Weisener博士 德國機械設備制造業聯合會（VDMA）微技術專業組主席 微系統技術有著光明的未來。這是因為微米或納米級小型結構的微型部件和金銀絲細品越來越受到歡迎。如生物技術人員就希望能夠獲得帶有微型導液槽的部件或在生物芯片里加入微型泵；汽車工業希望汽油發動機和柴油發動機能夠獲得更小型化的噴油嘴；傳感器的生產廠家也正在把微型化技術向前推進。“盡管所預測的經濟狀況正在走弱，但是微技術的發展還是會高于平均水平的，其增長會達到20%~30%。”位于Parchim的HNP微系統有限公司的總經理和德國機械設備制造業聯合會（VDMA）微技術專業組主席Thomas Weisener博士這樣認定。 在加工某些微型部件時，加工力度或毛刺會對微型部件的功能帶來負面影響，因此機械加工工藝往往會遇到其應用極限。此外，對帶有深型腔的工件外形，機械加工工藝也無能為力。在此情況下，非接觸式切削加工工藝，如激光切割以及近年來興起的所謂電化學銑削就可以發揮出極大的優勢。 激光可通過各種合適的光源 實現對所有材料的加工 “規格在100nm以下的極細微的結構在如今采用飛秒（10-15s）激光裝置，可優先被運用在陶瓷材料、半導體和玻璃上。”斯圖加特大學流體工具學院激光研發和激光光學技術系主任Andreas Vo?博士揭示出了激光微型加工的優勢。激光非常靈活，精度很高，并可以（在合適的光源下）加工所有材料。這與要求材料具備導電性的微型蝕刻技術相比，具有很大的優越性。 在“納秒（10-9s）和皮秒（10-12s）范圍內的圍脈沖寬度的固體激光技術基本上都可用于微型加工場合。”Vo?博士解釋說。因此，可以優先把2~200ns脈沖寬度和典型的1~200kHz重復頻率的激光用于要求生產效率較高的場合。“這不僅在于簡單、便宜和成熟的技術，而且還在于每個激光脈沖可以達到10μm的切割深度。”缺點是很高的熔化比，使得加工精度受到限制。 皮秒激光可以用于需要高精度和細微結構以及需要一次加工完成的場合。但是，典型的切割深度大約為每脈沖1μm。 飛秒激光技術在工業上的應用尚未普及，這是因為這種工藝在幾年前才出現可使用的形式，使用成本還很高。這種激光工藝可以用于非金屬材料，如玻璃、陶瓷、半導體加工上，實現真正無熔化、超精密和無損傷的切割作業。 采用微激光裝置進行加工能夠達到何種質量，這還要取決于加工材料、加工深度、鏤空形狀、切割效率和光源等，因此無法實現普及化。Mittweida大學項目負責人Robby Ebert列舉了通常只有在某些特定材料，如鈦，所能達到的鉆孔和厚度為30μm的激光鉆孔：“我們已經為一個客戶實現了直徑為27±1μm的鉆孔加工。” 工具制造業中的電化學銑削 在加工極小鉆孔、溝槽或隔板時，成熟的微加工技術有時也會遭遇競爭對手——所謂的電化學銑削。2001年柏林Max-Planck研究院Fritz-Haber研究所研發的這種新型加工工藝已經走出實驗室，應用在了工業制造加工領域。位于Holzgerlingen的ECMTEC 公司在2008年秋天推出了成熟的Mikro電化學銑床。“電化學微型銑削的優點在于刀具無磨損、無接觸、無毛刺和所有金屬材料的無熱應力切削。”公司總經理Thomas Gmelin解釋說。同時他也作了限定，“但是，幾乎每一種材料都需要一種合適的電解質。”目前刀具直徑范圍是2~500μm、進刀速度大約為1μm/s的設備可以對CrNi鋼、工具鋼和純金屬如銅、鎳、金和鎢等進行加工。 針對注塑模具制造，該方法也是很有效的。“在此種場合中，型腔通過電腐蝕和銑削進行準備工序。”Gmelin說道：“出于所需的精度或結構細微程度的考慮，不能采用其他加工方法，而只能采用電化學銑削。”他列舉了另一個重要的應用場合，即是為避免因采用熱載荷而導致部件結構發生改變，或所產生的應力造成部件過早磨損而采用電化學加工。