來自電子、醫(yī)療、航空及其他行業(yè)的技術(shù)需求正推動微加工實(shí)現(xiàn)更低、更精密的公差。激光技術(shù)的應(yīng)用滿足了幾何尺寸? ⒐娓裨嚼叢澆裘艿男幸敵棖蟆? 這方面一個(gè)實(shí)例是電子行業(yè)電路路徑 — 尺寸必須為10μm，公差為1μm—的加工。該過程必須快速執(zhí)行，并且要控制好切深，從而不影響電路路徑下面的基質(zhì)。 圖中溝槽為5μm深，15μm寬。它是在不銹鋼中切割的，是高 頻、短脈沖激光微加工能力的一種證明。一種新近推出的短脈沖激光在大量材料的微細(xì)特征加工中得到了人們認(rèn)可。該激光被稱作Staccato，由位于密蘇里州O'Fallen的RPMC激光公司制造。 對于微加工應(yīng)用，該激光裝置的基本波長為1μm。它可以在峰值功率高達(dá)38 兆瓦的情況下產(chǎn)生長為13微微秒、衍射得到限制的脈沖，該公司稱，該功率遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于大多數(shù)普通工業(yè)激光器的功率。該激光機(jī)的單個(gè)脈沖可以去除薄至1 nm、厚至1 μm的材料，依據(jù)所切割的材料而定。 這種新型激光器的技術(shù)優(yōu)點(diǎn)是可以在100 kHz—即每秒100,000個(gè)脈沖—下產(chǎn)生峰值功率。這樣就大大提高了可以去除的材料量。 一種新近推出的短脈沖激光在大量材料的微細(xì)特征加工中得到了人們認(rèn)可。該激光被稱作Staccato，由位于密蘇里州O'Fallen的RPMC激光公司制造。 對于微加工應(yīng)用，該激光裝置的基本波長為1μm。它可以在峰值功率高達(dá)38 兆瓦的情況下產(chǎn)生長為13微微秒、衍射得到限制的脈沖，該公司稱，該功率遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于大多數(shù)普通工業(yè)激光器的功率。該激光機(jī)的單個(gè)脈沖可以去除薄至1 nm、厚至1 μm的材料，依據(jù)所切割的材料而定。 這種新型激光器的技術(shù)優(yōu)點(diǎn)是可以在100 kHz — 即每秒100,000個(gè)脈沖 — 下產(chǎn)生峰值功率。這樣就大大提高了可以去除的材料量。 由于其脈沖短，頻率又很快，因此減少或消除了通常與長頻率激光脈沖有關(guān)的“熱影響區(qū)”。在Staccato的超高頻率下，材料從切割區(qū)吹走，從而沒有時(shí)間在工件表面重新鑄造。因此，可以以相對較高的生產(chǎn)率產(chǎn)生比較平滑而精確的切割。 這種新激光系統(tǒng)是設(shè)計(jì)用于在車間環(huán)境使用的。它不是一臺實(shí)驗(yàn)室機(jī)床。在制造、車間環(huán)境中它可以很好地工作。 該微觀照片顯示了采用穿孔法在鋼材中進(jìn)行噴絲嘴切割的細(xì)節(jié)情況。被 切割材料厚度480μm。激光切割面平滑而精確，即使在如此高的放大倍數(shù) 下也如此，并且沒有顯示出任何受熱影響區(qū)的痕跡。該激光機(jī)設(shè)計(jì)用于擴(kuò)充普通激光加工范圍。它不是設(shè)計(jì)用于取代普通激光機(jī)的，但是卻給制造者們提供了一種新的工具，可以進(jìn)行普通激光技術(shù)當(dāng)前無法完成的切割。 Staccato短脈沖激光機(jī)很適合微加工。而微加工在制造領(lǐng)域則正擁有越來越多的契機(jī)。